| Miejsce pochodzenia: | CHINY |
|---|---|
| Nazwa handlowa: | BAXIT |
| Orzecznictwo: | CE |
| Numer modelu: | BXT-MPCVD |
| Minimalne zamówienie: | 1 (Min. Zamówienie) |
| Cena: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Czas dostawy: | 5-8 dni roboczych |
| Zasady płatności: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Możliwość Supply: | 5 |
| Częstotliwość pracy: | 2450 MHz | Moc wyjściowa: | 0,1 ~ 6 kW płynna regulacja |
|---|---|---|---|
| Stabilność mocy: | lepsza niż ±1% (przy statusie znamionowym) | Interfejs falowodu wyjściowego: | BJ-26/22 ze standardowym kołnierzem FD-26/22 |
| Wejście zasilania: | 380VAC/50Hz, 3-fazowe 5-przewodowe, 11kW | Przepływ wody chłodzącej: | 18 l/min |
| Współczynnik fali stojącej systemu: | VSWR ≤ 1,5 | Wyciek mikrofal: | spełniają krajowe normy |
| Rozmiar i tryb pracy: | ΦTryb 200 x 300 (H) TM |
| Generator mikrofal i system | Częstotliwość pracy | 2450 MHz |
| Moc wyjściowa | 0,1 ~ 6 kW płynna regulacja | |
| Stabilność mocy | lepsza niż ±1% (przy statusie znamionowym) | |
| Interfejs falowodu wyjściowego | BJ-26/22 ze standardowym kołnierzem FD-26/22 | |
| Wejście zasilania | 380VAC/50Hz, 3-fazowe 5-przewodowe, 11kW | |
| Przepływ wody chłodzącej | 18 l/min | |
| Współczynnik fali stojącej systemu | VSWR ≤ 1,5 | |
| Wyciek mikrofal | spełniają krajowe normy | |
| Kuchenka mikrofalowa próżniowa komora wyładowcza | Rozmiar i tryb pracy | ΦTryb 200 x 300 (H) TM |
| Efektywny obszar osadzania | Φ50mm | |
| Zakres kontroli ciśnienia | 0,5KPa ~ 30KPa | |
| Dokładność kontroli ciśnienia | ± 15 Pa | |
| Akwizycja próżni | Wzrost pojedynczego kryształu | tempo wzrostu 10-15 μm/H, pojedyncza grubość wzrostu ≥ 1,6 mm |
| Jakość pojedynczego kryształu | prawie żadnych defektów pod gołym okiem | |
| System próżniowy | Tryb wydmuchu | wypełnić N2 |
| Ostateczny stopień próżni | lepiej niż 8 × 10-4 Pa | |
| Wskaźnik wycieku próżni | ≤10-9pA.m3/s | |
| Wzrost ciśnienia | Średni wzrost ciśnienia w ciągu 24 godzin jest mniejszy niż 1 Pa/H |
| System masowego przepływu gazu | Precyzja | 2% -100% FS, ciśnienie wlotowe wynosi 0,2-0,3 MPa; |
| Rodzaj i zasięg gazu | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
| Przykładowy system sceniczny | Średnica sceny próbki | Φ60mm, chłodzony wodą; |
| Zakres regulacji próbki stół |
0~15mm | |
| Zakres regulacji płyty wnęki | 0~60mm | |
| Pomiar temperatury podłoża | pomiar temperatury w podczerwieni zakres |
600 ~ 1200 ℃ (pomiar temperatury w podczerwieni) |
| Precyzja kontroli temperatury | precyzja kontroli temperatury ± 5 ℃; | |
| Zakres regulacji obszaru stałej temperatury | różnica temperatur każdego punktu platformy molibdenowej ≤30 ℃ | |
| Interfejs urządzenia | Woda wlotowa i wylotowa | Przewód zewnętrzny G1 " |
| Przyłącze gazowe | Zewnętrzny przewód magnetowidu 1/4" | |
| Interfejs odprowadzania spalin | Przewód zewnętrzny 3/4" | |
| Linia napięcia | TB4506 | |
| Rezystancja izolacji | ≥5MΩ | |
| Niezawodność | ciągły i stabilny czas pracy w normalnych warunkach nie może być krótszy niż 24H | |
| Całkowite zasilanie | 380VAC±5%/50Hz,3fazowy5przewodowy,13kW | |
| Całkowita woda chłodząca | 34L/min, czysta miękka woda, temperatura wody na wlocie wynosi 20 ℃ ± 5 ℃; ciśnienie wody wynosi 0,2 ~ 0,4 MPa | |
| Wymiary | ~1,95(dł)x0,8(szer)x1,90(wys)m | |
